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冲破光刻机“卡脖子”到底难在哪？

2025-12-16
出品|新闻 导语：最近清华大学SSMB同步辐射EUV光源的热度至极高，许多东谈主皆认为中国依然贬责了光刻机中最中枢的光源本事，就不错弯谈超车，打脸ASML。那么
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